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1960年代,扫描电子显微镜scanning electron microscope问世,它利用高能电子束对样品进行扫描成像。 电子与构成样品的原子的相互作用可以产生包含样品表面的形貌、成分和其他信息的信号。从原理上讲,扫描电子显微镜是利用非常精细---的高能电子束在样品上扫描,激发各种物理信息。 通过对这些信息的接受、放大和显示成像,可以获得对试样表面形貌的观察。桌面式扫描电镜scanning electron microscope是一种紧凑型电子显微镜,可以放置在实验台上进行操作。其原理与传统落地式扫描电子显微镜相同。 组成部分包括:电子发射、电磁透镜、信号检测、真空系统、计算机控制系统。
若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点,则会使灯丝的温度偏低,发射束流偏小且不稳定,结果会导致亮度不足、图像的信噪比变差;若灯丝的加热电流刚好处在临界饱和点,则发射的束流既稳定,亮度又高,图像的信噪比又比较好;若加热的电流超过临界饱和点,文山投射电镜分析,则只会增加灯丝的温度,而发射束流不会有明显增加,但会明显缩短灯丝的寿命,这种情况下的阴极激发电极寿命可能只有30~40小时,寿命短的甚至不到20小时。所以在正常工作时,应把灯丝的加热电流设置在临界饱和点,只有在这种状态下,阴极发射的束流才能连续、稳定,投射电镜分析费用,且能提供足够的亮度,并且灯丝才能达到正常的预期寿命。
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的sem来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常---一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。
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