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九鼎(天津)新材料科技有限公司
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二次电子检测信号和光电转换效率要高
二次电子的检测信号和光电转换效率要高***图像信号的接收和信噪比的问题。试样表面的细节要足够多和细、组分反差要大***试样表面的结构问题。试样的导电性要好、二次电子产额要高***试样的特征和制备问题。加速电压和束流的大小、束斑的对中、工作距离和图像的衬度调节等电镜参数的选择要合理***操作人员的工作经验、综合素-题。供电电压的波动、地面的振动、周围的磁场和噪声等各种干扰都要尽可能小***环境条件的问题。
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐-缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
电磁透镜有聚光镜及物镜两种
通常,电磁透镜有聚光镜及物镜两种:聚光镜是电子向样品移动时遇到的个透镜。该透镜在电子束锥再次打开前使电子束会聚,并在撞击扫描样品之前由物镜再次会聚。聚光镜决定了电子束的大小(这决定了分辨率高低),而物镜的主要作用是将电子束-到样品上。它的透镜系统还包含扫描线圈,用来对样品表面进行栅网式扫描。很多时候,会将光阑与透镜相结合来控制电子束的大小。
首先在扫描电镜窗口下找到感兴趣的样品区域,其次在能谱软件窗口对样品区域进行点、线或面扫描,即可获取样品区域的元素种类、分布及含量百分比。
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