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二次电子像的分辨力优于背散射像

二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间-的亚表面试样表面0~1nm之间-发出的电子主要为俄歇电子，二次电子能量在0~50ev之间，平均能量约30ev，所以这些二次电子能-地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径，还没有被多次反射和明显扩散，因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大，所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像，背散射像的分辨力优于吸收电流像，吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下，扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力，若没有-说明，都是泛指二次电子像的分辨力。

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子，加速电压在1-15kv范围内连续可调，搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式oxford能谱仪，同时满足形貌观测及元素分析需求。 当有电流流经灯丝时，阴极被直接加热，钨灯丝中的电子受热激发，在加速电场的作用下，电子定向发射。在正常的工作温度下，电子从大约100um×150um的面积发射离开“v”形阴极。当阴极的发射温度增-，其发射电流以指数的方式快速增长，使得束斑亮度大增。

钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数

看表面形貌，电子成像，亮的区域高，暗的区域低。非常薄的薄膜，背散射电子会造成假像。导电性差时，电子积聚也会造成假像。

钨灯丝台式扫描电镜性能是很多人关心的因素，所谓的性能包括两个因素，包括钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数。首先是操作性能，在设计机器的过程中操作性能是重要考察的因素，考验是设备部件之间的相互衔接，能否在测量的过程中的操作钨灯丝台式扫描电镜是影响设备性能的关键因素。不仅是钨灯丝台式扫描电镜操作性能，钨灯丝台式扫描电镜的测量技术参数也是不可忽视性能因素，看看台式扫描电镜的技术参数是否能够满足自己的测量的需求。