文山高分辨透射电镜测试中心- 9D实验室样品测试

二次电子检测信号和光电转换效率要高

二次电子的检测信号和光电转换效率要高***图像信号的接收和信噪比的问题。试样表面的细节要足够多和细、组分反差要大***试样表面的结构问题。试样的导电性要好、二次电子产额要高***试样的特征和制备问题。加速电压和束流的大小、束斑的对中、工作距离和图像的衬度调节等电镜参数的选择要合理***操作人员的工作经验、综合素-题。供电电压的波动、地面的振动、周围的磁场和噪声等各种干扰都要尽可能小***环境条件的问题。

二次电子像的分辨力优于背散射像

二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间-的亚表面试样表面0~1nm之间-发出的电子主要为俄歇电子，二次电子能量在0~50ev之间，平均能量约30ev，所以这些二次电子能-地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径，还没有被多次反射和明显扩散，因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大，所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像，背散射像的分辨力优于吸收电流像，吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下，扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力，若没有-说明，都是泛指二次电子像的分辨力。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：

　　a. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的-。一般，热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子可使束斑直径小于3nm。

　　b. 入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而变大，从而降低了分辨率。

　　c. 成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 ev)，平均自由程短(10~100 nm左右)，只有在表层50～100 nm的-范围内的二次电子才能逸出样品表面， 发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。

台式扫描电镜主机集成高压及控制系统

台式扫描电镜主机集成高压及控制系统，体积小巧，便于移动，可出差携带，安装无需特殊环境，只需找一张桌子，供电就可工作。扫描电镜照片是灰度图像，分为二次电子像和背散射电子像，主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况，越亮的区域，原子序数越高。